Vakum pompası

Vakum pompası, vakumun arkasında bir kısmını bırakması amacıyla kapalı bir birimden gaz molekülleri kaldıran cihazlardır. İlk vakum pompası Otto von Guericke tarafından 1650 yılında icat edilmiştir.

Bir turbomoleküler yüksek vakum pompasından, kesit görünüm